目前，無損超光滑表面的藍寶石晶片表面加工工藝最好的方法是化學機械拋光。眾所周知，藍寶石襯底其材料的脆性大，硬度僅次于金剛石，在對其進行機械加工十分困難，而要求無損傷超光滑表面技術更加復雜。通常超光滑、無損傷的表面是指：表面粗糙度小于1nmRMS 的表面；無損表面則是：加工表面不能有加工變質層，且表面晶格完整。那么方達旗下的陶瓷拋光機在加工藍寶石晶片時能達超光滑的鏡面效果，是怎樣的化學機械拋光機理。化學機械拋光是一個復雜的多反應，它存在著兩個動力學過程:

拋(pao)(pao)光首先(xian)使吸附在拋(pao)(pao)光布上(shang)的拋(pao)(pao)光液中的化(hua)學物(wu)質(zhi)與(yu)晶片表面進行化(hua)學反應。

2.解吸過程

在藍(lan)寶(bao)石(shi)晶(jing)(jing)片拋光(guang)過(guo)程中(zhong)(zhong)，主(zhu)要發生(sheng)水解反應(ying)，酸與(yu)堿的(de)(de)中(zhong)(zhong)和(he)反應(ying)及鹽的(de)(de)復分解反應(ying)。在整(zheng)個化學(xue)機械過(guo)程中(zhong)(zhong)，化學(xue)反應(ying)的(de)(de)作(zuo)(zuo)用(yong)是影(ying)(ying)響(xiang)藍(lan)寶(bao)石(shi)表(biao)(biao)面(mian)的(de)(de)晶(jing)(jing)格完整(zheng)和(he)表(biao)(biao)面(mian)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)(du)(du)(du)和(he)平面(mian)度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)主(zhu)要因素，而(er)機械作(zuo)(zuo)用(yong)是影(ying)(ying)響(xiang)表(biao)(biao)面(mian)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)(du)(du)(du)和(he)平面(mian)度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)主(zhu)要因素。粗(cu)糙(cao)度(du)(du)(du)(du)(du)和(he)平面(mian)度(du)(du)(du)(du)(du)與(yu)拋光(guang)壓力，拋光(guang)盤的(de)(de)運動(dong)軌(gui)跡(ji)相關。通(tong)過(guo)化學(xue)反應(ying)與(yu)機械作(zuo)(zuo)用(yong)則能(neng)獲得鏡面(mian)超光(guang)滑的(de)(de)晶(jing)(jing)片表(biao)(biao)面(mian)。

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