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最適合藍寶石晶片高精密加工方法都有那些?

來源://shhtgl.com.cn/ 日期:2017-12-04 11:06:39 人氣:4985

藍寶(bao)石(shi)具(ju)有(you)硬度高,脆(cui)性(xing)大(da),化學(xue)性(xing)穩定是作為光(guang)學(xue)材料的優良(liang),但同時(shi)也是加工的難點。想要(yao)獲得加工表面(mian)超光(guang)滑(hua)的藍寶(bao)石(shi),可以采用以下(xia)加工方法:

1.水合(he)拋光

水合拋光其原理是:在陶瓷拋光機加工過程中拋光盤與藍寶石表面產生的摩擦,接觸點產生高溫高壓,藍寶石表面的原子呈活性化,利用過熱水蒸汽氣分子和水作用其表面,使之在界面上形成水合化學反應層,再借助過熱水的水蒸氣,利用兩者的摩擦力去除藍寶石表面的水合層,從而達到超精密加工表面。是一種利用工件在界面生成水化學反應的拋光方法。在整個加工過程中沒有使用磨料與拋光液,從而避免了工件產生表面劃傷的現象。整個加工過程比較綠色環保。

2.激光拋光

激光(guang)(guang)(guang)拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)藍寶石(shi)的(de)原理是:通過(guo)激光(guang)(guang)(guang)與藍寶石(shi)的(de)熱(re)作用(yong)(yong)與光(guang)(guang)(guang)化(hua)學作用(yong)(yong),可以分為冷(leng)、熱(re)拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)兩(liang)種(zhong)方法。冷(leng)拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)采(cai)用(yong)(yong)短波(bo)長(chang)激光(guang)(guang)(guang)來化(hua)學分解去除(chu)材(cai)料(liao),藍寶石(shi)表(biao)面(mian)(mian)材(cai)料(liao)吸收光(guang)(guang)(guang)分子后,表(biao)面(mian)(mian)材(cai)料(liao)結(jie)構(gou)會(hui)被破壞,從而(er)使表(biao)面(mian)(mian)材(cai)料(liao)離(li)開本體實現材(cai)料(liao)的(de)去除(chu)。熱(re)拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)一般(ban)采(cai)用(yong)(yong)連(lian)續長(chang)波(bo)長(chang)激光(guang)(guang)(guang),通過(guo)融化(hua),蒸發等方式去除(chu)材(cai)料(liao)表(biao)面(mian)(mian)成(cheng)分,但其(qi)熱(re)溫度(du)梯(ti)度(du)大,熱(re)應力(li)大容易導(dao)致裂(lie)紋產生與表(biao)面(mian)(mian)粗(cu)糙度(du)大等,比較適合粗(cu)拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)。而(er)冷(leng)拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)過(guo)程其(qi)熱(re)應力(li)小,很少會(hui)產生裂(lie)紋適合超精密拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)。

上面只是眾多(duo)加工方(fang)法其中最為合(he)適(shi)的兩種(zhong),未來的研磨行業朝(chao)節能環保方(fang)向發展是必然(ran)的趨勢(shi)。

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