專業從事各種高(gao)精密研磨設(she)備、拋光設(she)備及其配(pei)套產(chan)品和(he)消耗材料的高(gao)新企業
FD7004PA硅片研磨機
主要用途：
本設備主要用于藍寶(bao)石(shi)襯底、藍寶(bao)石(shi)外延片(pian)、硅片(pian)、陶瓷、石(shi)英晶體、其(qi)他半導體材料等薄形精密(mi)零件(jian)的單面高(gao)精密(mi)研磨(mo)及拋光。
設(she)備特點：1.本設(she)備為(wei)單面精密研磨(mo)設(she)備，采用先進(jin)的機械(xie)結(jie)構和控(kong)制方法，研磨(mo)加工(gong)效率高，運(yun)行穩定。
2.整(zheng)機采用PLC+觸摸屏控制系統，設備(bei)參數設置和(he)操作簡單方便，系統穩定(ding)性(xing)高。
3.主(zhu)電機采用變頻調速控(kong)制(zhi)，實(shi)現(xian)主(zhu)機軟啟動、軟停機，降低設備(bei)運(yun)行沖擊，減少工件損傷(shang)。
4.工件研磨壓力采用氣缸加壓方(fang)式，通過電氣比例閥控制實現壓力的(de)閉(bi)環控制，保證極高的(de)施壓精度與(yu)穩定性。
5.上(shang)壓盤采用主動驅動方式，在確保產品(pin)研磨(mo)速(su)率的前提下保證各工位研磨(mo)加工的統一(yi)性。
6.研(yan)磨(mo)盤(pan)與(yu)上壓盤(pan)都(dou)設置(zhi)了冷卻水冷卻功能，在保證研(yan)磨(mo)液發揮(hui)最大效率的(de)(de)同時減少研(yan)磨(mo)盤(pan)面的(de)(de)變形。
7.設備自帶盤面(mian)修整(zheng)機，盤面(mian)修整(zheng)后(hou)可(ke)保證0.01mm的盤面(mian)平整(zheng)度(du)。
設備參數：
磨盤規(gui)格(ge)
700mm
陶瓷盤(pan)直(zhi)徑
240-260mm
主電機功率
4KW/380V
壓(ya)盤電機功率
0.4KW/380V*4（選配(pei)）
主電機轉速
100rpm（max）
設(she)備工位(wei)數
4個
設備規格
1200*1500*2300mm
設備重量(liang)
2000KG
設備圖片：
該設(she)備磨拋效果：
技術參數
? 拋光盤尺寸 Φ700mm× Φ160mm×12.7mm
? 工作工位 4 組
? 陶瓷吸盤直徑 Φ305mm
? 加壓方式 氣缸加壓
? 主電機功率 4 KW/380V
? 工件盤驅動功率(伺服馬達) 0.4KW/380V ×4 (選配)
? 工作氣壓 0.4-0.6MPa
? 工件盤轉 速 1-40rpm
? 拋光盤轉速 5- 100rpm
? 加工粗糙度 Ra:0.0002
? 設備總重量 1800 kg
? 外形尺寸L ×W ×H 950 ×1350 ×2300 mm
